アウトガス対策のクリーンルーム用ノンシールパネル

• クリーンルーム用パネルのアウトガス対策（※）
• 気密性が高く、長尺パネル及び高気密パネルの製作が可能です。
• 独自のアルミ嵌合目地材を採用した汎用式ですから、パネルの取り付けが簡単に行なえます。また、取り外しも独自の方法を採用していますので、簡単に行なえます。

• ウェハー表面や基板上の薄膜行程などで均一な化学処理に対応するため、クリーンルーム内のケミカル汚染が問題となっています。日軽パネルステムでは、アウトガス対策に「ノンシールパネル」をご提供。ジョイント部は、パッキンにVOCの少ない材料やアルミ枠嵌合目地を採用しています。

パネル枠材	長辺
	短辺
枠材コーナー部		コーナーインジェクション （ポリスチロール）