清浄空間

工業向けクリーンルーム

半導体・精密機械機器製造業者様向け

未来を担う超最先端技術を支える、 高精度かつ安定的制御が可能な空間を構築。

半導体をはじめとする、あらゆる産業の研究・製造に対応する清浄空間を提供。
超微細な粉塵も許さないシビアな設計技術で、技術革新をサポートします。

半導体・精密機械機器製造業者様のこんなニーズにお応えします。

  • 物と人の導線に配慮した空間を作りたい。
  • 浮遊粉じんの限りなく排除された空間を作りたい。
  • 用途や広さに応じた柔軟なレイアウトにしたい。
  • アウトガス対策をしたい。

日軽パネルシステムが手掛ける工業向けクリーンルームの特長・メリット

柱の無い空間で有効スペースを最大利用

高強度のパネルは施工性が抜群。
そのため、柱のいらない空間を実現します。有効スペースを最大限に利用でき、自由な機器レイアウトが可能になります。また、性能を維持しながら、窓やコンセントの埋め込みも可能です。

外界との環境を強力シールド

パネルのジョイントは、標準仕様として防カビ用シリコンシーラント(脱オキシム型)を使用することで高い気密性を維持しています。

アウトガス汚染に配慮したクリーンルーム用ノンシールパネル

ウェハー表面や基盤上の薄膜工程などで均一な化学処理をするため、クリーンルーム内のケミカル汚染が問題となっています。
日軽パネルシステムでは、アウトガス対策に「ノンシールパネル」をご提供。
ジョイント部は、パッキンにVOC(揮発性有機化合物)の少ない材料やアルミかん合目地を採用しています。

システム天井で空間メンテナンスが容易

高い機密性

エアサプライチャンバー用天井補強梁は、天井パネルに貫通部の必要がないため、高い気密性を保ちます。

細かなニーズに応えるラインナップ

ブランクパネルは歩行可能なタイプもご用意。
目的に合わせて最適な組み合わせをご提案します。

柔軟なライン変更

柔軟なクリーンルーム設計と、容易なメンテナンスを実現する、ノウハウを凝縮。目的に応じたフレキシブルな設定が可能です。
日軽パネルシステムのシステム天井は、吊り位置、吊り元のフレキシブルなライン変更が可能です。

パネル天井で空間メンテナンスが容易

地震に強い耐震構造

強度のあるサンドイッチ構造のパネルは地震時の破損リスクが低く天井崩落を防止します。
オプションにより特定天井にも対応可能でより安全性の高い天井を提供します。
また、内外圧差の高い天井でのたわみやエア抜けを防ぎ、初期性能を長く維持し、移設、増設にも対応します。

天井裏を軽歩行可能

天井裏は点検時に軽歩行が可能。
天井裏のすっきりした空間で、照明の交換等のメンテナンスを行うことができ、設備等のメンテナンスに優れています。

工業向けクリーンルームの施工事例

工業向けクリーンルームを構成する製品

1

壁パネル

2

天井パネル

3

4

5

システム天井

内装パネル

天井

内装扉

表面材

オプション


導入に関するご相談

以下詳細をご希望の場合は、別途営業担当がご説明差し上げます。お気軽にご相談ください。
カタログ、CADデータ、取り扱い説明書はwebサイトからダウンロードいただけます。
ゼネコン様、サブコン様、代理店様、設備業者様、設計事務所様、建築コンサルタント様からのお問い合わせも歓迎です。

  • 施工可能な空間について知りたい
  • 製品の概要、特長が知りたい
  • 製品スペック、バリエーションが知りたい
  • 他社製品との違いが知りたい
  • 設計から工事、施工完了までのステップを知りたい
  • 施工後のメンテナンスや設備増強方法を知りたい
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